사업실적_연구개발

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반도체 공정 챔버 모니터링 System 개발

• 반도체 장비 진공 Chamber 내부 Monitoring
하나의 장치로 Wafer Alignment, 진동, leveling, 온/습도 동시 측정 가능
 Wafer 형태 측정 Module 에 Vision Sensor, 진동, 온/습도 Sensor 집적
외부 Controller PC와 실시간 무선 Data 통신  
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유증기 처리 시스템 개발

• 전기 집진 및 활성탄을 이용한 고효율 집진 장치
누적된 유증기 오염 불질의 배출이 쉽고 및 장치의 유지 관리가 용이  
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(주)써치앤델브

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